Преглед садржаја:
- Дефиниција - Шта значи екстремна ултраљубичаста литографија (ЕУВЛ)?
- Техопедија објашњава екстремну ултраљубичасту литографију (ЕУВЛ)
Дефиниција - Шта значи екстремна ултраљубичаста литографија (ЕУВЛ)?
Екстремна ултраљубичаста литографија (ЕУВЛ) је напредна, високо прецизна техника литографије која омогућава производњу микрочипова са довољно малим могућностима да подрже брзине такта од 10 Гхз.
ЕУВЛ користи супер напуњени ксенонски гас, који емитује ултраљубичасто светло и користи врло прецизна микро огледала да би фокусирао светлост на силиконску плочу да би произвео још ситније ширине карактеристика.
Техопедија објашњава екстремну ултраљубичасту литографију (ЕУВЛ)
Насупрот томе, ЕУВЛ технологија користи извор ултраљубичастог светла и сочива за фокусирање светлости. То није тако прецизно због ограничења сочива.
ЕУВЛ процес је следећи:
- Ласер је усмерен на гас ксенона, који га загрева за стварање плазме.
- Плазма зрачи светлошћу на 13 нанометара.
- Светлост се сакупља у кондензатору, а затим се усмерава на маску која садржи распоред плоче. Маска је заправо само образац представљања једног слоја чипа. То се ствара применом апсорбера на неке делове огледала, али не и на друге делове, стварајући образац кола.
- Узорак маске огледа се у серији од четири до шест огледала, која се прогресивно смањују како би се смањила величина слике пре него што се она фокусира у силиконски рез. Огледало мало савија светло како би формирало слику, слично као што сочива фотоапарата раде на савијању светлости и стављању слике на филм.
