Преглед садржаја:
Дефиниција - Шта значи Нанолитографија?
Нанолитографија је грана нанотехнологије и назив процеса за утискивање, писање или једрење узорака на микроскопском нивоу како би се створиле невероватно мале структуре. Овај се поступак обично користи за стварање мањих и бржих електронских уређаја као што су микро / наночипови и процесори. Нанолитографија се углавном користи у различитим секторима технологије од електронских до биомедицинских.Техопедија објашњава Нанолитографију
Нанолитографија је широк појам који се користи за описивање различитих процеса за стварање наноселектора на различитим медијумима, од којих је најчешћи силикон полуводичког материјала. Претежна сврха нанолитхографије је смањивање електронских уређаја, што омогућава да се више електронских делова стрши у мање просторе, тј. Мање интегрисане склопове који резултирају мањим уређајима, који су бржи и јефтинији за производњу, јер је потребно мање материјала. Ово такође повећава време перформанси и одзива, јер само електрони морају да путују на веома кратким удаљеностима.
Неке технике које се користе у нанолитхографији су следеће:
- Рендгенска литографија - Примењена је кроз приступ штампе из близине и ослања се на рендгенске зраке у близини поља у Фреснеловој дифракцији. Познато је да оптичку резолуцију проширује на 15 нм.
- Двоструко узорковање - Метода која се користи за повећање резолуције тона литографског процеса штампањем додатних образаца између размака већ исписаних образаца у истом слоју.
- Литографија електронског снопа са директним писањем (ЕБДВ) - најчешћи поступак који се користи у литографији, а који користи сноп електрона за стварање образаца.
- Екстремна ултраљубичаста (ЕУВ) литографија - Облик оптичке литографије који користи ултра кратке светлосне таласне дужине од 13, 5 нм.
